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如何選擇合適的X射線檢測(cè)設(shè)備

發(fā)布時(shí)間：2020-02-15 09:00:00

一臺(tái)成熟的X光檢測(cè)設(shè)備，主要由X射線管、X光探測(cè)器、輔助運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及防護(hù)設(shè)備、軟件這幾大部分組成。其中，X射線管是X光檢測(cè)設(shè)備的心臟，對(duì)于各種X射線檢查裝置，X射線管是其中最重要的部分。目前，X射線管可分為兩類(lèi)：開(kāi)管和閉管，即開(kāi)放式射線源和封閉式射線源。兩種管之間的特征比較如表所示。

類(lèi)型

功能	開(kāi)管	閉管
分辨率	≤1μm	≥1μm
管電壓	≥160KV	＜160KV
放大倍率	高	低
燈絲壽命	300-800小時(shí)	大約10,000小時(shí)
系統(tǒng)維護(hù)成本	燈絲/設(shè)備維護(hù);需要專(zhuān)業(yè)真空泵抽真空。	不需要

在選擇X射線管的類(lèi)型時(shí)，必須考慮一些因素：

1、X射線管類(lèi)型：開(kāi)管或閉管。此類(lèi)型與檢查設(shè)備的分辨率和壽命相關(guān)。分辨率越高，用戶(hù)看到的細(xì)節(jié)就越復(fù)雜。如果檢查的目標(biāo)是大規(guī)模的，那么當(dāng)您選擇分辨率相對(duì)較低的設(shè)備時(shí)無(wú)關(guān)緊要。但是，就BGA和CSP而言，需要2μm或更小的分辨率。

2、目標(biāo)類(lèi)型：穿透或反射。目標(biāo)類(lèi)型在影響樣品與X射線管焦點(diǎn)之間的距離方面起作用，最終影響檢測(cè)設(shè)備的放大時(shí)間。

3、X射線電壓和功率。 X射線管的穿透能力與電壓成正比。當(dāng)電壓較大時(shí)，可以檢查具有較高密度和厚度的物體。當(dāng)被檢查的目標(biāo)是單面板時(shí)，可以選擇具有低電壓的器件。然而，當(dāng)被檢查的目標(biāo)是多層板時(shí)，需要高電壓。對(duì)于一定的電壓，圖像清晰度與X射線管功率成正比。